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真空镀膜表面出现掉膜现象解决方法

2021-01-04

 关于真空镀膜前面已经有过很多的介绍,而真空镀膜时也会出现掉膜的现象,而对这个情况需要如何的解决呢?

 1、表面清洁度

 产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

 2、清洗过程中的问题

 镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

 3、工艺的问题

 工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

 4、靶材的问题

 钛靶是否中毒,检查和更换。

 5、真空腔是否漏气

 进行次捡漏。

 6、产品表面氧化

 氧化的原因很多,可以自行判断处理。

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